【概要描述】
采用英國雷尼紹的激光干涉儀和瑞典海克斯康的二次元等高精度標定儀調試工具。
激光干涉儀具有超高分辨率，可達0.001μm。我們對各運動軸進行高精度標定，絕對定位精度小于±1μm。重復定位精度小于±0.5μm。配合先進的龍門雙驅算法，為高精度微組裝工藝提供可靠保障。
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微組MicroASM AMX 全功能粘片機 微組MicroASM AMS 倒裝鍵合機 微組MicroASM M 微組裝鍵合機 微組MicroASM M-10S 微組裝鍵合機 AMR系列 Mini LED全自動激光返修設備 效時ShuttleStar SV-2000A 效時ShuttleStar RW-E6250U 效時ShuttleStar RW-SV560A 效時ShuttleStar RW-SV550
應用案例
吸嘴自動切換模塊
WAFER自動上料系統
共晶焊接模塊
醫療器械及模塊微組裝
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